薄膜太阳能电池等离子体首台高端薄膜太阳能电池关键生产设备下线_我的网站

薄膜太阳能电池等离子体首台高端薄膜太阳能电池关键生产设备下线

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1月8日我国首台代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备———等离子体增强型化学气相沉积设备(PECVD)在上海成功下线,被视为中国在新能源高端装备领域取得的重大突破。“中国造”的PECVD性能领先于国外同类产品,价格大幅低于后者,国内薄膜太阳能电池产业化进程有望提速。

据介绍,由上海理想能源设备公司研制并首次下线的等离子体增强型化学气相沉积设备,是制造非晶微晶叠层薄膜电池最关键的设备。采用非晶微晶叠层硅薄膜太阳能电池结构不仅提高了转换效率,而且克服了非晶硅薄膜较严重的光致衰减效应。上海理想能源的PECVD采用了创新的超高频射频技术、精密的真空和温度控制技术、快速的自动传输技术和多腔多片的反应腔系统,大大提高了产能,其产品性能优越,而售价远低于同等的进口设备。


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